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编者按

之所以会有这样的说法，是因为有报道指出，面对美国主导的针对更先进技术的限制，中国企业正在扩大生产这些旧芯片的产能，这引发了西方对长期供应过剩可能性的担忧。但在今年四月接任光刻机巨头CEO职位的克里斯托夫·富凯 看来:“全球对此类芯片的需求正在急剧上升，但生产此类芯片的利润并不高，而且西方公司投资也不够。”“欧洲甚至无法满足其自身需求的一半。”富凯强调。

为此他做出了文章开头的判断。

其实在这个采访中，Christophe Fouquet还谈了下一代EUV光刻机等更多技术和话题，我们翻译如下，以飨读者。

以下为采访全文:

Christophe Fouquet这位土生土长的法国人自四月底以来一直担任欧洲最有价值的科技集团ASML的负责人，只有荷兰公司提供了可以生产世界上最先进半导体的技术。换而言之，没有ASML，就没有AI芯片。这就是现状。

与此同时，这位 50 岁的人承担了一项高度政治性的工作:美国正在推动芯片行业对中国实施更广泛的出口限制。美国政府希望禁止更多芯片制造设备运往该国。

到目前为止，制裁只影响使用昂贵的特殊芯片的机器。富凯对此进行了辩护。福凯在接受采访时表示，西方急需的芯片正在中国生产。“阻止某人生产你需要的东西是没有意义的。”

Fouquet先生，ASML被禁止向中国出售采用EUV技术的系统，而现在由于无法获得出口许可证，连更简单的系统订单也不被允许。您觉得自己是中美芯片大战的受害者吗？

Christophe Fouquet:从积极的角度来看，这表明我们很重要。这也证明了整个行业的相关性。这是一个信号，表明欧洲可以在一个重要行业中发挥重要作用。有时欧洲感觉很小，或者至少与美国和中国相比更小。但 ASML 及其供应商拥有对全世界至关重要的 EUV 知识。除了我们之外没有人能做到这一点。

EUV是一种将半导体暴露在极紫外光下的系统。为什么你如此确信没有人可以模仿这一点？毕竟，中国正在向芯片行业投入数十亿美元。

Christophe Fouquet:EUV 技术非常复杂。将其整合为一个系统是极其困难的。我们的知识非常丰富，整个生态系统都在这里。

连中国人都做不到吗？

Christophe Fouquet:这对中国来说真的非常非常困难。因为他们没有欧洲的专业知识。

您是否害怕更深远的出口管制？

Christophe Fouquet:我们都在寻找用于人工智能、智能手机和服务器的最强大、最先进的半导体。但汽车行业，尤其是德国汽车行业，需要更多使用更简单、众所周知的技术制造的芯片。对这些组件的需求正在急剧增加。但生产它们并不是特别有利可图。因此，西方对此类作品的投资很少。欧洲甚至无法满足其一半的需求。因此，我们需要从其他地方获得这种芯片，而目前正在中国建造这种芯片的工厂。

所以你说进一步限制你们的机器向中国出口是不明智的。

Christophe Fouquet:个别国家可能会说，“我们不喜欢中国在芯片方面所做的事情。”然后我们建议政府建立自己的工厂。因为不可能让中国的生产变得更加困难，而不自己创造替代方案。

中国距离先进芯片还有多远？

Christophe Fouquet:如果你看看今天的先进芯片，我认为众所周知，中国很可能落后美国十年。英特尔-老板帕特·基辛格公开表示得很清楚。因此，中国在不太现代的芯片技术方面最为活跃。

这就是西方迫切需要的芯片？

Christophe Fouquet:正确的。如果有人想放慢速度——无论出于什么原因——他们就需要替代方案。阻止某人生产你需要的东西是没有意义的。当谈到俄罗斯天然气时，人们明白必须找到替代品，但当谈到芯片时，还没有找到替代品。

你们的 EUV 机器每台成本超过1.5亿欧元。在后续一代 High-NA 中甚至有 3 亿。系统价格会不会很快达到台积电等大型芯片制造商无法承受的程度？

Christophe Fouquet:没错，我们的机器已经变得越来越贵了。但只要它们对我们的客户有意义，这并不重要。有报道指出，由于成本太高，High-NA 并未被使用。但事实并非如此。而且，我们永远不会建造成本高于附加值的设施。

然而，价格还是惊人的。

Christophe Fouquet:当然，我们谈论的是大数字。任何开出 4 亿欧元支票的人都必须能够信赖我们的质量。我们的客户不怕花更多钱。但这对他们来说一定是值得的。我们必须遵守这条规则，直到末日。

直到去年，他们甚至还没有几个购买昂贵的 EUV 机器的客户。由于人工智能的蓬勃发展，这种情况正在发生变化，不是吗？

Christophe Fouquet:是的，因为人工智能需要高性能芯片。每当需要更先进的芯片时，也需要更先进的系统。现在内存芯片制造商也在向我们采购。但这并不是说我们只是跟随市场。

你这样说是什么意思？

Christophe Fouquet:当没有人知道人工智能会变得多么强大时，我们开发了 EUV 及其后续技术，即 High-NA 和 Hyper-NA。我们这样做是因为我们认为:当我们将这项技术推向市场时，就会有人足够聪明来使用它。

您认为系统的昂贵和复杂程度会受到限制吗？

Christophe Fouquet:EUV 投入量产花了二十多年和数十亿美元。好消息是这项技术可以在未来 20 年内得到扩展。

你指的是 High-NA 和 Hyper-NA 的后续技术吗？

Christophe Fouquet:Hyper-NA 设施与 High-NA 设施非常相似。系统 90%、甚至 95% 的部分将完全相同。我们必须改变的是光学器件，即镜子。因此，系统不会变得更加复杂。同时，我们可能会在未来十年内，甚至六七年内将系统的生产力提高一倍。当然，这也会提高价格。

在你的前任Peter Wennink任职期间，股价从50欧元上涨至900欧元，销售额和利润成倍增长。这会让你有很大压力吗？

Christophe Fouquet:我并不担心这一点，除此之外，我还看到了非常好的增长机会，未来五年半导体市场将翻倍...

一些分析师甚至预计会有更大的优势...

Christophe Fouquet:没错，可能会更多，具体取决于人工智能如何起飞。只要我们在这个行业中保持重要地位，我们就会与它一起成长。

您具体看到了哪些潜力？

Christophe Fouquet:我们每隔几年就会提供有关我们目标的信息。2022年我们曾表示，希望在2025年实现销售额300亿至400亿欧元。我们预计到 2030 年，这一数字将达到 440亿 至 600 亿。范围之所以如此之大，是因为在如此长的一段时间内它是如此不确定。但无论如何，它比今天要多得多。

未来技术 Hyper-NA 在您的发展计划中扮演什么角色？

Christophe Fouquet:我们总是展望未来 10 年或 15 年，并问自己这个行业可能需要什么。我们对某些事情是确定的。例如，我们知道该行业需要 EUV。否则就很难缩小晶体管的尺寸。

晶体管是芯片的核心；现代半导体上的晶体管数量多达 1000 亿个。

Christophe Fouquet:是的，我们知道高数值孔径对于逻辑芯片和 DRAM 存储芯片在未来两三年内迈出下一步至关重要。

Hyper-NA 是下一步吗？

Christophe Fouquet:如果我们进一步展望未来，我们可以看到该行业需要更大的功率、更高的密度，即尽可能多的晶体管，但又不会增加太多成本。因为更多晶体管的价值必须始终超过额外成本。因此，我们相信，需要 Hyper-NA 只是时间问题。但我们谈论的是下一个十年。

具体来说，第一个系统什么时候可以启动并运行？

Christophe Fouquet:当我们的客户需要时，我们一定会准备好将 Hyper-NA 推向市场。那可能是 2032 年或 2035 年。我们将在未来三四年内讨论这个问题。问题更多的是何时发生，而不是是否会发生。

其实在这篇采访后的一个多月里，关于High NA EUV光刻机有了很多进展宣布。

例如有消息指出，三星电子将引进其首个High-NA 0.55 EUV 光刻工具，从而实现半导体制造技术的重大飞跃。该公司计划在 2024 年第四季度至 2025 年第一季度期间在其华城园区安装 ASML Twinscan EXE:5000 系统，这标志着其在开发用于逻辑和 DRAM 生产的下一代工艺技术方面迈出了关键一步。此举使三星在采用 High-NA EUV 技术方面落后于英特尔一年，但领先于竞争对手台积电和 SK 海力士。该系统预计将于 2025 年中期投入使用，主要用于研发目的。

而据韩媒 ZDNet Korea 报道，SK 海力士 EUV 材料技术人员当地时间本月 12 日出席技术会议时向媒体表示，该企业计划于 2026 年首次导入 ASML 的 High NA EUV 光刻机。

SK 海力士的一位工程师表示该公司新近成立了一个 High NA EUV 研发团队，正致力于将 High NA EUV 光刻技术应用到最先进 DRAM 内存的生产上。

由此可见，ASML的EUV光刻机，依然大有可为。

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